| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	中大招（货）[2025]145号
项目名称	******学院无掩膜紫外光刻机设备采购项目
申购主题	无掩膜紫外光刻机
项目类型	货物采购	项目预算	***
最高限价	800,000.00(人民币)
报名及响应开始时间	2025-06-18 16:50	报名及响应结束时间	2025-06-24 09:00
采购单位	******大学
经办人	王老师	经办人电话	******
期望收货时间	合同签订后30天交货
是否送货	是	送货地址	******大学深圳校区工学园1-513
电子签章	本项目需要使用CA签字  CA操作手册下载
备注	1、本项目不允******学校不收 取任何费用。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（******/article/4902）提前办理CA证书。?5、?5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

| 采购明细

1 采购设备	无掩膜紫外光刻机
数量	1台
参考品牌

“无掩膜紫外光刻机”技术要求

序号	技术要求内容	评分等级	是否星号条款	是否需要附件说明
1	★1、光刻精度：至少支持两个光刻镜头：光刻镜头1：最小线宽不大于1.2 μm，工作距离≥19 mm；光刻镜头2：最小线宽不大于0.8 μm，工作距离≥12 mm	重要	是	是
2	2、具备交互式套刻指引功能：支持实时光刻图形的预览	重要	否	否
3	▲3、具备图像识别对焦功能	非常重要	否	是
4	▲4、支持光刻镜头电动切换	非常重要	否	是
5	5、曝光波长：380 nm	重要	否	否
6	6、数字掩模板分辨率：≥1920 * 1080，微镜尺寸≤7.6 μm	重要	否	否
7	7、显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性	重要	否	否
8	8、可支持的最大样品厚度：≥10 mm	重要	否	否
9	▲9、最大曝光面积：≥150 mm * 150 mm	非常重要	否	是
10	▲10、支持样品电动旋转	非常重要	否	是
11	11、样品台精度：绝对定位精度±0.5 μm，双向重复定位精度±0.25 μm	重要	否	否
12	12、样品吸附：支持样品吸附	重要	否	否
13	▲13、辅助功能： 原位光绘功能：支持原位绘制光刻图形； 物像绑定功能：支持样品图形和光刻图形绑定，实时对应； 成像拼接功能：支持样品图形的大范围拼接，实现大范围样品查找； 畸变矫正功能：支持光刻图形算法畸变矫正，实现精准套刻	非常重要	否	是
14	14、画图功能：支持阵列画图、套刻画图	重要	否	否
15	▲15、软件及其功能：配套中文版操作软件	非常重要	否	是
16	▲16、配置清单：(1)无掩膜紫外光刻机主机（380 nm光源）1套、光刻机配套中文版操作软件1套；(2)工作站1套（配置不低于i5-14500 14核/16G DDR5/512G SSD/27寸显示器）、有线键鼠一套；(3)物镜3颗（1颗观测镜头、2颗光刻镜头）；(4)光电分离机箱2个；(5)气泵1个；(6)工具及附件1套（公制内六角扳手、英制内六角扳手、磁吸小灯带背胶、理线管5米：1根、螺丝刀套装、U盘）；(7)光学平台1个：尺寸不低于68cm（长）x68cm（宽）x78cm（高）；(8)机柜1个：尺寸不低于75cm（长）x60cm（宽）x95cm（高）	非常重要	否	是

| 资质要求

序号	要求名称	条件类型	要求内容	是否需要附件说明
1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号	要求名称	要求内容	是否需要附件说明
1	免费保修年限	2年 3年 4年 5年及以上	是
2	合同履约	******学校合同范本执行 下载地址：******:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （******大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	否
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式	是
4	售后服务要求	1、在保修期内，当设备发生故障、买方不能自行解决时，卖方在接到买方的通知后：（1）在24小时内响应；（2）72小时内到达现场，并尽快予以解决；（3）一般故障7天内解决（重大故障除外）。 2、超过保修期后，如合同设备发生故障，买方要求卖方对设备进行检查、维修时，卖方在接到买方的通知后：（1）在24小时内响应；（2）在72小时内到达现场，并尽快予以解决；	是
5	培训要求	1、卖方负责对仪器进行安装调试，并对仪器操作人员进行技术培训。 2、培训人员：不少于2人； 3、培训时间：2天； 4、培训内容：仪器的测量原理、基本性能和用途、仪器操作、仪器维护等。	是
6	保修范围	1、保修期内的保修内容与范围：（1）整机保修，在保修期内出现属于合同设备原因的故障，卖方负责无偿修理及免费提供备件（除耗材外）。 2、超过保修期后的保修内容与范围：保修期外的涉及到零部件出现故障，卖方需按成本价加必要的人工等其他费用提供优惠报价。	是

欢迎供应商注册 投标，如有疑问请联系技术支持QQ: ******88

1.报名须知：
   a、请登录wisdombidding.com选择相应项目，点击界面下方“我要报价”按钮。
   b、首次访问的用户需注册，经系统审核后，再登录查看可报名项目，按系统提示报名。
   c、报名材料除产品彩页外均需加盖公章，扫描上传。
2、注册审核时间为（工作日8：30 - 17:30），一般为当个工作日。
3、缴费确认时间（工作日8：30 - 17:30）：
   a、对公转账一般到账时间需要四个小时，缴费确认需要四个小时以上，节假日期间请使用微信支付。
   b、推荐使用微信支付，微信支付实时到账系统自动确认收款，可马上报价。
4、资料准备时间为1-2日，报价材料除产品彩页外均需加盖公章，请供应商提前准备。
5、供应商第一次报价可能需要较长时间，请提前报价。